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當前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 元器件參數測試儀器 > 半導體器件CV特性測試 > TH513 半導體C-V特性分析儀
簡(jiǎn)要描述：■ 一體化設計：LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機軟件■ 單管器件（點(diǎn)測）、模組器件（列表掃描）、曲線(xiàn)掃描(選件)三種測試方式■ 四寄生參數(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示■ 標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）■ CV曲線(xiàn)掃描、Ciss-Rg曲線(xiàn)掃描■ 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現快速測試■ 接觸檢查Cont■ 通斷測試OP_SH■ 自動(dòng)延時(shí)設置■ 柵極電壓VGS：0 - ±40V■ 漏極電壓VDS：0 - ±3000V■ 10檔分選
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2023-12-08訪(fǎng) 問(wèn) 量：299產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
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詳細介紹
TH510系列半導體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據當前半導體功率器件發(fā)展趨勢，針對半導體材料及功率器件設計的分析儀器。
儀器采用了一體化集成設計，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試，無(wú)需頻繁切換接線(xiàn)及設置參數，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試，適用于生產(chǎn)線(xiàn)快速測試、自動(dòng)化集成。
CV曲線(xiàn)掃描分析能力亦能滿(mǎn)足實(shí)驗室對半導體材料及功率器件的研發(fā)及分析。
儀器設計頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V，足以滿(mǎn)足大多數功率器件測試。
功能特點(diǎn)
A.一體化測試，集成度高、體積小、效率高
一臺儀器內置了LCR數字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件，將復雜的接線(xiàn)、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統內，操作更簡(jiǎn)單。特別適合產(chǎn)線(xiàn)快速化、自動(dòng)化測試。
B.單管器件測試，10.1寸大屏，四種寄生參數同屏顯示，讓細節一覽無(wú)遺
MOSFET或IGBT最重要的四個(gè)寄生參數：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試，10.1寸大屏可同時(shí)將測量結果、等效電路圖、分選結果等重要參數同時(shí)顯示，一目了然。
一鍵測試單管器件器件時(shí)，無(wú)需頻繁切換測試腳位、測量參數、測量結果，大大提高了測試效率。
C.列表測試，多個(gè)、多芯、模組器件測量參數同屏顯示
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)單管器件、6芯器件或6模組器件測試，所有測量參數通過(guò)列表掃描模式同時(shí)顯示測試結果及判斷結果。
D.曲線(xiàn)掃描功能（選件）
在MOSFET的參數中，CV特性曲線(xiàn)也是一個(gè)非常重要的指標，如下圖
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線(xiàn)分析，可以以對數、線(xiàn)性?xún)煞N方式實(shí)現曲線(xiàn)掃描，可同時(shí)顯示多條曲線(xiàn)：同一參數、不同Vg的多條曲線(xiàn)；同一Vg、不同參數多條曲線(xiàn)。
E.的接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動(dòng)化測試隱患
F.的快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件
在半導體器件特性測試時(shí)，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個(gè)芯已經(jīng)損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被為合格，而半導體器件的導通特性才是最重要的特性。
因此，對于本身導通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測試是沒(méi)有必要的，不僅僅浪費了測量時(shí)間，同時(shí)會(huì )由于C-V合格而混雜在良品里，導致成品出貨后被退回帶來(lái)?yè)p失.
TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。
G.模組式器件設置，支持定制
針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會(huì )有不同類(lèi)型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化，常見(jiàn)模組式芯片Demo已內置，特殊芯片支持定制.
H.簡(jiǎn)單快捷設置
I.10檔分選及可編程HANDLER接口
J.支持定制化，智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶(hù)而言是開(kāi)放的，儀器所有接口、指令集均為開(kāi)放設計，客戶(hù)可自行編程集成或進(jìn)行功能定制，定制功能若無(wú)硬件更改，可直接通過(guò)固件升級方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過(guò)升級固件(Firmware)來(lái)進(jìn)行更新，而無(wú)需返廠(chǎng)進(jìn)行。
固件升級非常智能，可以通過(guò)系統設置界面或者文件管理界面進(jìn)行，智能搜索儀器內存、外接優(yōu)盤(pán)甚至是局域網(wǎng)內升級包，并自動(dòng)進(jìn)行升級
K.技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線(xiàn)/自動(dòng)化系統高速測試精度
同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗積累，得以在產(chǎn)線(xiàn)、自動(dòng)化測試等高速高精度測試場(chǎng)合，都能保證電容、電阻等測試精度。
常規產(chǎn)線(xiàn)測試，提供標準0米測試夾具，直插器件可直接插入進(jìn)行測試，Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。
針對自動(dòng)化測試，由于自動(dòng)化設備測試工裝通常需要較長(cháng)連接線(xiàn)，大多自動(dòng)化設備生產(chǎn)商在延長(cháng)測試線(xiàn)時(shí)會(huì )帶來(lái)很大的精度偏差，為此，同惠設計了的2米延長(cháng)線(xiàn)并內置了2米校準，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。
L.半導體元件寄生電容知識
在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會(huì )影響半導體的動(dòng)態(tài)特性，所以在設計半導體元件時(shí)需要考慮下列因數
在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來(lái)的影響；MOS管的寄生電容會(huì )影響管子的動(dòng)作時(shí)間、驅動(dòng)能力和開(kāi)關(guān)損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴(lài)性在電路設計中也是至關(guān)重要，以MOSFET為例。
M.標配附件
■ 半導體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
■ 半導體材料
晶圓切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數分析
■電容元件
電容器C-V特性測試及分析，電容式傳感器測試分析
產(chǎn)品型號 | TH511 | TH512 | TH513 | |||
通道數 | 2（可選配4/6通道） | 1 | ||||
顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對角線(xiàn))電容觸摸屏 | ||||
比例 | 16:9 | |||||
分辨率 | 1280×RGB×800 | |||||
測量參數 | Ciss、Coss、Crss、Rg，四參數任意選擇 | |||||
測試頻率 | 范圍 | 1kHz-2MHz | ||||
精度 | 0.01% | |||||
分辨率 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | |||||
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | ||||||
1Hz 100.000kHz-999.999kHz | ||||||
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | ||||||
測試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | ||||
準確度 | ±（10%×設定值+2mV） | |||||
分辨率 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | |||||
10mVrms 1Vrms-2Vrms | ||||||
VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | ||||
準確度 | 1%×設定電壓+8mV | |||||
分辨率 | 1mV 0V - ±10V | |||||
10mV ±10V -±40V | ||||||
VDS電壓 | 范圍 | 0 - ±200V | 0 - ±1500V | 0 - ±3000V | ||
準確度 | 1%×設定電壓+100mV | |||||
輸出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz | |||||
數學(xué)運算 | 與標稱(chēng)值的偏差Δ，與標稱(chēng)值的百分比偏差Δ% | |||||
校準功能 | 開(kāi)路OPEN、短路SHORT、負載LOAD | |||||
測量平均 | 1-255次 | |||||
AD轉換時(shí)間（ms/次） | 快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms | |||||
準確度 | 0.5%（具體參考說(shuō)明書(shū)） | |||||
Ciss、Coss、Crss | 0.00001pF - 9.99999F | |||||
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | |||||
Δ% | ±（0.000% - 999.9%） | |||||
多功能參數列表掃描 | 點(diǎn)數 | 50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設置平均數，每個(gè)點(diǎn)可單獨分選 | ||||
參數 | 測試頻率、Vg、Vd、通道 | |||||
觸發(fā)模式 | 順序SEQ：當一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測量，/EOM/INDEX只輸出一次 | |||||
步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執行一個(gè)掃描點(diǎn)測量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在最后的/EOM才輸出 | ||||||
圖形掃描 | 掃描點(diǎn)數 | 任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn) | ||||
結果顯示 | 同一參數、不同Vg的多條曲線(xiàn)；同一Vg、不同參數多條曲線(xiàn) | |||||
顯示范圍 | 實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定 | |||||
坐標標尺 | 對數、線(xiàn)性 | |||||
掃描參數觸發(fā)方式 | Vg、Vd | |||||
單次 | 手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號啟動(dòng)新一次掃描 | |||||
連續 | 從起點(diǎn)到終點(diǎn)無(wú)限次循環(huán)掃描 | |||||
結果保存 | 圖形、文件 | |||||
| 標配 | |||||
| 配件名稱(chēng) | 型號 | ||||
| TH510夾具控制連接電纜 | TH26063D | ||||
| TH510測試延長(cháng)線(xiàn) | TH26063G | ||||
| 選配 | |||||
| 配件名稱(chēng) | 型號 | ||||
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